案例 I – 機台 & 治工具開發-光罩盒轉換

A.原機台監控機制不足，易損傷光罩。
B.原機台功能受限,無法全自動進換行轉換僅能用人力取Vender box 內Reticle ,再由現行設備轉至Nikon box。

1.監控機制提高，考量保護光罩為優先。
2.全自動化進行轉換,避免人碰觸Vender box ↔ Nikon box。
3.利用邏輯判斷模式,避免人員誤操作
4.採用PLC人機介面,方使程式修改,及功能增加

光罩盒轉換機動態檔......