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案例 I – 機台 & 治工具開發-光罩盒轉換

機動機說明:

A.原機台監控機制不足,易損傷光罩。
B.原機台功能受限,無法全自動進換行轉換僅能用人力取Vender box 內Reticle ,再由現行設備轉至Nikon box。

改善方法:

1.監控機制提高,考量保護光罩為優先。
2.全自動化進行轉換,避免人碰觸Vender box ↔ Nikon box。
3.利用邏輯判斷模式,避免人員誤操作
4.採用PLC人機介面,方使程式修改,及功能增加

光罩盒轉換機動態檔......

光罩抓取機構

光罩盒轉換站

手動取光罩治具

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