PSMC

案例 II -工程改善- Anti back stream interlock valve

機動機說明:

真空腔體在瞬間或無任何預期下,當產生真空系統Pump 故障時,管路內的製成反應物會因壓力差物理現象,回灌至真空腔體內,造成產品及設備污染。

改善方法

利用Pump的訊號,再配合此型特殊設計閥門,能效阻絕瞬間壓差時,所產生污染,大大降低了損失。

自行研發機構:
psmc ©2018 Powerchip Semiconductor Manufacturing Corporation