案例 III 工程改善-流量監控系統
 機動機說明：
在半導體黃光設備上(Mark-7 Track)所使用的流量計，並無任何監控機制，常因異常發生而無法立即偵測，造成產品連續性異常或報廢。
改善方法利用機台側的2組訊息，以邏輯判斷來作為監控的訊號,加上自行開發控制器，可同時間監控 7至9組流量 real time monitor，當異常發生時立即停機，可減少損失。
自行研發機構：
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